Bosim sensorlari suyuqlik va gaz bosimini o'lchash uchun ishlatiladi. Keng tarqalgan turlarga MEMS kremniy piezorezistiv bosim datchiklari, MEMS kremniy rezonansli bosim datchiklari, keramik sig'imli bosim datchiklari, metall sig'imli bosim datchiklari, purkalgan yupqa plyonka bosimi sensorlari va metall kuchlanish o'lchagich bosim sensorlari kiradi. Ularning ishlash stsenariylari ishlash printsipiga qarab farqlanadi.
MEMS silikon piezorezistiv bosim sensori:Bu bosim sensori eng keng tarqalgan turi. Uning asosiy o'lchov diapazoni 15 kPa dan 100 MPa gacha, odatda aniqligi 0,05% FS dan 3% FS gacha. Ishlash harorati oralig'i odatda -55 darajadan 180 darajagacha. Katta hajmdagi yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonlariga mos bo'lgani uchun-arzon. Suyuqlikni o'lchash uchun yog 'bilan to'ldirilgan izolyatsion qadoqlash talab qilinadi.
MEMS kremniy rezonansli bosim sensori: Bu sensorda bosimni mikro{0}}nurning rezonans chastotasidagi oʻzgarishga aylantiruvchi mohir dizayn qoʻllaniladi. Nurning chastotasi faqat uning tuzilishi va haroratiga bogʻliq boʻlgani uchun hamda filtrlash effektlaridan foyda koʻradi, bu sensor 0,01% FS gacha boʻlgan yuqori chiqish aniqligiga erishadi. Uning asosiy bosim o'lchash diapazoni 100 kPa dan 40 MPa gacha, ish harorati oralig'i -55 dan 85 darajagacha. Murakkab ishlab chiqarish va yuqori narx tufayli u yarimo'tkazgichlarni qayta ishlash va okean chuqurligini o'lchash kabi juda yuqori aniqlikni talab qiladigan ilovalar uchun javob beradi.
Seramika sig'imli bosim sensori:Seramika materiali mukammal aşınma qarshilikka ega, bu sensorni qum-shlam aralashmalarida bosim o'lchash uchun mos qiladi. Bundan tashqari, sulfat kislota kabi korroziyali suyuqliklarni o'lchash imkonini beruvchi yaxshi korroziyaga chidamliligini ta'minlaydi. Bundan tashqari, keramika asosidagi bosim datchiklari suvning muzlashiga bardosh bera oladi-bu xususiyatni MEMS sensorlari bilan erishib bo'lmaydi.
Metall sig'imli bosim sensori:Ushbu sensor bosimga sezgir harakatlanuvchi elektrod sifatida metall diafragmadan foydalanadi va qattiq elektrodli kondansatör hosil qiladi. Diafragmaga bosim ta'sir qilganda, elektrodlar orasidagi sig'im o'zgaradi va bosim va sig'im munosabatlarini o'rnatadi. Metall diafragmalar Inconel kabi korroziyaga chidamli materiallardan tayyorlanishi mumkin va juda past bosimlarni o'lchashi mumkin (0–1/10/100/1000 Torr). Shunday qilib, yarimo'tkazgich sanoatida vakuumni o'lchash va maxsus gazni o'lchashda keng qo'llaniladi.
Cho'kdiThin{0}}filmBosim sensori va metall kuchlanish o'lchagich bosim sensori:Ikkala datchikda ham katta metall yuzalarga{0}}qoplangan kuchga sezgir material mavjud bo‘lib, mahsulot mustahkam va bardoshli qiladi. Ular yuqori bosim diapazonlari va yuqori ishonchlilikni talab qiladigan ilovalar uchun javob beradi, masalan, sariq mahsulotlar, dizel dvigatellari va tunnel burg'ulash mashinalari. Ushbu sensorlarni mutlaq bosim sensori sifatida ishlab chiqarish oson emas va odatda 200 MPa yoki undan yuqori maksimal diapazonlarni qamrab olishi mumkin. Yuqoridagi birinchi rasmda purkalgan yupqa{5}}plyonka datchik yadrosi, ikkinchi rasmda esa metall kuchlanish o‘lchagich yadrosi ko‘rsatilgan.
Bosim sensorini tanlash uning ishlashidan to'liq foydalanish uchun haqiqiy ish sharoitlariga asoslanishi kerak. Mihui Technology turli tamoyillarga asoslangan bosim sezgichlariga ixtisoslashgan bo'lib, mijozlarga eng mos echimlarni taqdim etish uchun to'liq dizayn, ishlab chiqarish va ishlab chiqarish imkoniyatlarini taklif etadi. Agar qiziqsangiz biz bilan bog'lanishga xush kelibsiz:Telefon raqami: +8618066965135; Email: mihuitec@gmail.com
