Ishlash printsiplariga ko'ra, bosim datchiklarini bir necha turlarga bo'lish mumkin, jumladan, keramik sig'imli, metall sig'imli, yupqa{0}}plyonka deformatsiyasini o'lchagich, deformatsiya o'lchagich, kremniy piezorezistiv, kremniy sig'imli va kremniy rezonansli. Ular orasida rezonansli bosim sensorlari eng yuqori aniqlikni taklif qiladi va to'liq harorat oralig'ida (-40 darajadan 85 darajagacha) 0,01% FS gacha aniqlikka erishadi. O'zlarining ajoyib aniqligi tufayli ular okean chuqurligini o'lchash, bosim mos yozuvlar standartlari, samolyot parvoz parametrlarini o'lchash va meteorologik monitoring kabi juda yuqori bosim aniqligini talab qiladigan ilovalarda keng qo'llaniladi. Silikon rezonansli bosim sensorlarining bunday yuqori aniqlikdagi bosim o'lchoviga erishishining sabablari quyidagilardan iborat:
1. Kremniy rezonansli bosim sensorining asosiy tuzilishi simmetrik ikki-qisqichli kremniy rezonatoridir. Rezonatorning rezonans chastotasi qo'llaniladigan bosim bilan o'zgaradi. Chastota qattiq jismlarning oʻziga xos xususiyati boʻlgani uchun u past chastotali shovqinlarga kamroq taʼsir qiladi-va haroratga nisbatan minimal oʻzgarishlarni koʻrsatadi. Ushbu tabiiy filtrlash effekti yuqori signal{6}}to-shovqin nisbatiga olib keladi.
2. Ikki-qisqichli rezonator strukturasi rezonator tebranishida aniq tashqi kuch nolga teng boʻlishini taʼminlaydi. Bundan tashqari, MEMS anodik bog'lash texnologiyasidan foydalanish tufayli butun rezonator vakuum muhitida ishlaydi va yuqori sifat omiliga erishadi.
3. Loyihalash jarayonida issiqlik kuchlanishini minimallashtirish uchun rezonatorning issiqlikka sezgir joylariga kuchlanishni bartaraf etish{1}} tuzilmalari kiritiladi. Bu rezonatordagi termal stressni sezilarli darajada kamaytiradi.
Xi'an Mihui Technology kremniy rezonansli bosim sensori mahsulotlari to'liq harorat oralig'ida 0,01% FS aniqlik bilan yuqori{0}}aniqlikdagi bosimni o'lchash imkonini beradi. Ular 0,01% FS yillik misli ko'rilmagan barqarorlikni taklif qiladi va chastota chiqishi va RS485 raqamli chiqishini qo'llab-quvvatlaydi. Ushbu sensorlar 100 kPa dan 1 MPa gacha bo'lgan mutlaq bosim o'lchovlarini qamrab oladi. Spetsifikatsiyalar quyidagicha:
Qiziqarli tomonlar bizning veb-saytimizda keltirilgan ma'lumotlar orqali biz bilan bog'lanishlari mumkin.
